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iFocus是一款用于晶圓外觀(guān)缺陷檢測設備，利用STI的2D/3D視覺(jué)檢測系統，采用雙2D Camera同時(shí)采集亮區和暗區照片分析特征缺陷；True 3D技術(shù)，可以精確量測Bumping高度，Bumping共面性等特征?？蛇m用于EWLB/CMOS/MEMS/LED/LENS/GLASS WAFER/GAS WAFER/COG等產(chǎn)品外觀(guān)檢測。
更新時(shí)間：2024-03-19
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