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產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category薄膜厚度測量的光學(xué)模塊可容納所有光學(xué)部件:分光計、復合光源(壽命10000小時(shí))、高精度反射探頭。因此,在準確性、重現性和長(cháng)期穩定性方面保證了優(yōu)異的性能。
FR-Mic 多層膜厚度測試儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,可以將光斑縮小到幾個(gè)微米,進(jìn)而分析微小區域或者粗糙表面薄膜特征。
FR-uProbe-LC: 可測量小至幾微米的光斑尺寸應用,例如微圖案表面、高粗糙度表面的樣品等等只需單擊鼠標即可在 Vis/NIR波長(cháng)范圍中測量微小區域薄膜厚度、光學(xué)常數、反射率、透射率和吸光度
FR-Scanner-AIO-Mic-XY300 是一款整合自動(dòng)薄膜厚度測繪系統,用于全自動(dòng)圖案化晶圓上的單層和多層涂層厚度測量。電動(dòng)X(jué)-Y載物臺提供適用尺寸 300mm x 300mm毫米的行程,通過(guò)真空固定在載臺上時(shí)進(jìn)行精確測量??梢罍y量厚度和波長(cháng)范圍應用需求可在在 200-1700nm 光譜范圍內提供各種光學(xué)配置
硬化涂層膜厚儀是一款快速、準確測量薄膜表征應用的模塊化解決方案,要求的光斑尺寸小到幾個(gè)微米,如微圖案表面,粗糙表面及許多其他表面。
Thetametrisis膜厚測量?jì)xFR-pRo是一個(gè)模塊化和可擴展平臺的光學(xué)測量設備,用于表征厚度范圍為1nm-1mm 的涂層。
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