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系統可以為各種材質(zhì)薄膜提供高精度的厚度均勻性測量。使用創(chuàng )新的融合光譜反射技術(shù)、近紅外干涉技術(shù)以及高亮度光源驅動(dòng)的光譜橢偏儀技術(shù)的多傳感器融合測量技術(shù)，是國內可以實(shí)現同質(zhì)膜厚全自動(dòng)檢測的系統。
更新時(shí)間：2024-05-16
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