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研發(fā)和小規模生產(chǎn)中的單晶圓光刻膠加工。$nEVG101光刻膠勻膠機在單室設計上可以滿(mǎn)足研發(fā)工作，與EVG的自動(dòng)化系統*兼容。EVG101支持大300 mm的晶圓，可配置為旋涂或噴涂和顯影。
更新時(shí)間：2024-05-16
型號：EVG101
廠(chǎng)商性質(zhì)：代理商
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