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簡(jiǎn)要描述:專(zhuān)為測量旋轉對稱(chēng)樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車(chē)削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡
產(chǎn)品分類(lèi)
Product Category詳細介紹
專(zhuān)為測量旋轉對稱(chēng)樣品的表面形貌和透明薄膜的厚度而設計,如金剛石車(chē)削光學(xué)表面和模塑或拋光的非球面透鏡:
•非接觸、高分辨率的高速彩色共聚焦點(diǎn)傳感器
•高精度對中/傾斜工作臺,帶可調壓電桿探頭,可快速輕松地對齊樣品/卡盤(pán)/夾具
•納米編碼C/R/Z (旋轉, 徑向, 垂直)運動(dòng),具有直接驅動(dòng)旋轉-空氣軸承 (C軸)和直接驅動(dòng)線(xiàn)性機械軸承(R&Z軸)
•花崗巖底座,具有尺寸穩定的因瓦合金計量框架
示例數據:
•樣品是具有衍射功能的DPT非球面
•在QuickPRO-RPS上測量
•移除多項形狀后顯示的數據
- 非球面凹陷約為800µm
- 衍射臺階高度約為1µm
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