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EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統

簡(jiǎn)要描述：EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統 應用：全自動(dòng)晶圓鍵合系統（晶圓鍵合機），適用于大300 mm的基板

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  • 更新時(shí)間：2024-03-19
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詳細介紹

EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統

應用：全自動(dòng)晶圓鍵合系統（晶圓鍵合機），適用于大300 mm的基板

一、簡(jiǎn)介

      EVG540自動(dòng)化晶圓鍵合系統（晶圓鍵合機）是一種自動(dòng)化的單腔室生產(chǎn)鍵合機，設計用于中試線(xiàn)生產(chǎn)以及用于晶圓級封裝，3D互連和MEMS應用的大批量生產(chǎn)的研發(fā)。EVG540基于模塊化設計，為我們未來(lái)的晶圓鍵合工藝從研發(fā)到大規模生產(chǎn)的全集成生產(chǎn)鍵合系統過(guò)渡提供了可靠的解決方案。

EVG540-晶圓鍵合自動(dòng)化系統

二、特征

單室鍵合機（晶圓鍵合機），大基板尺寸為300 mm
與兼容的SmartView 和MBA300
自動(dòng)處理多達四個(gè)鍵合卡盤(pán)
符合高安全標準
三、技術(shù)數據
（晶圓鍵合機）大加熱器尺寸300毫米
裝載室使用2軸機器人
高 鍵合室2個(gè)


 

 

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